电子束光刻系统(Electron Beam Lithography)
Nanoplus采用最新的100 KeV 电子束光刻系统,塑造单模激光器的DFB激光器。
侧面金属光栅技术(Lateral Metal-Grating)
Nanoplus采用独一无二的专利技术——侧面金属光栅(Lateral Metal-Grating),它的优势在于既能保证非常高的SMSR和光谱纯度,又能通过光栅周期选择任意中心波长在760nm到3500nm之间的DFB激光器。
Nanoplus DFB激光器设计原理:
DFB激光器采用侧面金属光栅技术: